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Analyse de couches minces
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Principe d'analyse: Un faisceau de neutrons est réfléchi par une surface en incidence rasante. La réflexion est totale tant que langle reste inférieur à un angle critique, caractéristique de la surface |
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Lorsque langle dincidence est supérieur à langle critique, seule une partie des neutrons est réfléchie. La courbe de lintensité réfléchie en fonction de langle dincidence nous renseigne sans ambiguïté sur les compositions, les épaisseurs et les rugosités (ou distances d'interdiffusion entre couches). |
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Une application industrielle : Le LLB a développé avec la société CILAS un revêtement multicouches de type "supermiroir" pour guides de neutrons. Ce traitement apporte un gain en intensité important, par lextension de langle critique apparent. Ces produits sont maintenant commercialisés et reconnus dans le monde entier. Seuls les tests neutroniques réguliers que nous effectuons sur la production garantissent au client la livraison d'un produit fini conforme aux performances annoncées.
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Avantage des neutrons par rapport aux rayons X ou la
lumière :
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Liste dapplications |
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Contexte Le réflectomètre EROS du LLB, dans le hall des guides du réacteur Orphée est dun accès aisé. Très flexible, lappareil permet les mesures de pièces de 1cm2 à 1000cm2. Des équipements spécifiques peuvent être installés à la demande. Table échantillon Références CILAS, Orléans, France |
Réflectomètre EROS sur le guide G3-bis
Equipements La table échantillon étant horizontale, les échantillons peuvent être indifféremment des liquides ou des solides. Lépaisseur typique étudiée est < 1m m. Le faisceau de neutrons peut traverser un support (par exemple en silicium) avant datteindre la couche intéressante. La température de léchantillon peut être ajustée de 10°C à 200°C |
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Expert en réflectométrie : Alain Menelle |
Laboratoire Léon Brillouin Téléphone : 01 69 08 95 58 |
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